國(guó)家科技部已將IC裝備列入“十一五”科技攻關(guān)重大專項(xiàng)，列支39億元重點(diǎn)扶持通過自主創(chuàng)新所取得的高新技術(shù)項(xiàng)目。
　
　　經(jīng)過專家們的反復(fù)考評(píng)篩選，沈陽新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司自主開發(fā)的硅片傳輸系統(tǒng)項(xiàng)目、中科院沈陽科學(xué)儀器研制中心研制的“等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備”項(xiàng)目、沈陽芯源先進(jìn)半導(dǎo)體技術(shù)有限公司“半導(dǎo)體與集成電路制造專用勻膠顯影機(jī)”項(xiàng)目，獲得了國(guó)家科技部重大項(xiàng)目支持。

　　據(jù)悉，到目前為止，我市IC裝備制造產(chǎn)業(yè)自主創(chuàng)新項(xiàng)目已獲得2億元的專項(xiàng)扶持�！�

新聞來源：沈陽日?qǐng)?bào)